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Fachgebiet
Scannende Inferenzlithographie auf räumlichen Strukturen
Die scannenden Inferenzlithographie (SBIL, engl. scanning beam interference lithography) ist ein Lithographieverfahren, dass eine effiziente Herstellung von großflächige Gitterstrukturen auf ebenen Substraten ermöglicht.
Mein Forschungsprojekt "3D-SBIL" befasst sich mit der Entwicklung und Untersuchung von Methoden zur Ausweitung der SBIL-Technologie für die Herstellung von Gitterstrukturen auf gekrümmten Oberflächen. Damit könnten neue Anwendungsgebiete z.B. im Bereich der Spektroskopie und Laseroptik erschlossen werden.
Zur Realisierung des Projektes wird ein optischer Schreib- und Lesekopf entwickelt, der die benötigten Freiheitsgrade für die Erweiterung in die dritte Dimension ermöglicht. Die Herausforderungen liegen in der hohen Positioniergenauigkeit, die im einstelligen Nanometerbereich benötigt wird.
Weitere Informationen befinden sich hier.
Konferenzbeiträge
- J. Rühle, E. Picotti and M. Bruschetta, "Learning-based Nonlinear Model Predictive Control for a High Performance Virtual Driver," 2023 IEEE Conference on Control Technology and Applications (CCTA), Bridgetown, Barbados, 2023, doi:10.1109/CCTA54093.2023.10252749
- J. Rühle and O. Sawodny, "Modeling and Identification of Inter-Stage Couplings and Disturbances in a High-Precision Nanopositioning and Nanomeasuring Machine," 2024 IEEE 18th International Conference on Advanced Motion Control (AMC), Kyoto, Japan, 2024, doi: 10.1109/AMC58169.2024.10505653
- Seit 08/2022
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Mitarbeiter am Institut für Systemdynamik
- 10/2019 - 06/2022
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Masterstudium "Technische Kybernetik" an der Universität Stuttgart
- 11/2021 - 06/2022
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Masterarbeit an der University of Padova, Italien
- 10/2020 - 12/2020
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Industriepraktikum bei der Robert Bosch GmbH im Bereich "Deep Reinforcement Learning"
- 03/2019 - 10/2020
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Werkstudent bei der Robert Bosch GmbH im Bosch Center for Artificial Intelligence
- 10/2016 - 09/2019
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Bachelorstudium "Technischen Kybernetik" an der Universität Stuttgart