Systemdynamik in der High-Performance-Optik

Dozent Dr.-Ing. Alexander Kharitonov
Semester Sommer
Umfang 3 ECTS
Sprache Deutsch
Termine Freitag, 09:45 - 13:00 Uhr im ISYS-Seminarraum Waldburgstr. 17/19, Raum 1.01/1.02
Ansprechpartner

Dr.-Ing. Alexander Kharitonov
M.Sc. Kevin Schmidt

ILIAS-Kurs Systemdynamik in der High-Performance-Optik

 

Aktuelles
  • Die erste Vorlesung findet am 27.04.2018 um 9:45 Uhr im ISYS-Seminarraum 1.01/1.02 statt
  • Insgesamt finden dieses Semester fünf Termine statt (siehe Campus-Portal)
Beschreibung

Die Studierenden kennen die Grundzüge der Systemdynamik in der High-Performance-Optik und können Vorgehen und Methoden zur Bewertung der Dynamik-Performance sowie zur Auslegung der Dynamikarchitektur eines optischen Systems verwenden.

  • Prozessschritte bei der Herstellung von Mikrochips
  • Aufbau von Maschinen zur Herstellung von Mikrochips: Waferstepper und –scanner
  • Abbildungsqualität; Spezifikation der Positionsgenauigkeit
  • Auslegung der Dynamikarchitektur
  • Anwendung der Ansätze aus der Maschinen- und Strukturdynamik
  • Modale Beschreibung von elastischen Strukturen mit reell- und komplexwertigen Eigenformen
  • Auslegung von passiv gedämpften und aktiv geregelten optischen Elementen
  • Auslegung der Aktuator- und Messsysteme.

Anhand von Beispielen werden die wesentlichen Aspekte diskutiert.

Informationen
  • Voraussetzungen: Grundkenntnisse Systemdynamik und Regelungstechnik wie "Ssystemdynamische Grundlagen der Regelungstechnik" & "Einführung in die Regelungstechnik"
  • Informationen zur mündlichen Prüfung werden rechtzeitig bekannt gegeben bzw. mit den Studierenden vereinbart.